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FPA-3000 i4

产品名称：Canon光刻机
品牌：Canon
所在地：上海
产品型号：FPA-3000 i4
适用行业：化合物半导体、MSMS、LED等领域

技术指标

解像度

0.4um

露光光源

i-line 

缩小倍率

1:5

最大露光范围

22x22

重合精度

ＥＧＡ  ０．１１μｍ以内

更多服务欢迎咨询15001777723




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