NSR-2205i12D

产品名称：Nikon 光刻机
品牌：Nikon
所在地：上海
产品型号：NSR-2205i12D
适用行业：化合物半导体、MSMS、LED等领域

技术指标

解像度	≦ 350 nm
NA	0.63
露光光源	i-line (365 nm wavelength)
缩小倍率	1:5
最大露光范围	22 mm square to 17.9 (H) × 25.2 (V) mm (6-inch reticle), 20.0 × 20.4 mm (5-inchreticle)
重合精度	≦ 55 nm