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NSR-1755i7A
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NSR-1755i7A
产品名称:Nikon 光刻机
品牌:Nikon
所在地:上海
产品型号:NSR-1755i7A
适用行业:化合物半导体、MSMS、LED等领域
产品详情
技术指标
解像度
0.5
μ
露光光源
i-line (365 nm wavelength)
缩小倍率
1:5
最大露光范围
22x22
重合精度
EGA 0.11μm以内
更多服务欢迎咨询15001777723
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