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NSR-1755i7A

产品名称:Nikon 光刻机
品牌:Nikon
所在地:上海
产品型号:NSR-1755i7A
适用行业:化合物半导体、MSMS、LED等领域

技术指标

解像度

0.5μ

      露光光源i-line (365 nm wavelength)

缩小倍率

1:5

最大露光范围

22x22

重合精度

EGA  0.11μm以内

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