一般规格和信息：

• 型号： FPA 5000 ES3 （深紫外线）
• 第一年可用： 2001
• 镜头类型： ULEX03S
• 载物台类型：FLAT-II（快速衬里电机空气引导转移载物台）
• 腔室类型：CD140
   

投影光学元件：

• 投影放大倍率：1/4 X
• 曝光光：（248nm 深紫外）
• 数值孔径：（0.73~0.60，增量为0.01）
• 场尺寸：26x33mm
   

标准照明：

• 曝光光：深紫外（深紫）
• 光源：KrF准分子激光CYMER / ELS-6300或KLES G20K
• 强度：最小 17，000 w/m2
• 均匀性： +/- 1.0%
• 遮蔽刀片精度：最大 +/- 80 μm
   

印刷性能：

• 分辨率：<0.13μm以下
• 焦深：最小R 0.6μm
• 图像表面宽度：R 0.12μm或更好
• 畸变：<± 10μm
   

对焦/调平性能：

• 对焦重复精度：<60nm （3sigma）
• 调平重复性：<4ppm（3西格玛）
• 最小补偿范围：>100ppm
   

标准载物台规格：

• 步进精度：17纳米（3西格玛）
• 缩放：<±0.5ppm
• 正交性：<±0.5ppm
   

标准对齐规范：

• 光罩旋转精度：<±0.3ppm
• 晶圆对准：<0.025μm 平均值 + 3sigma
• 光罩旋转重复性：<R0.7ppm
   

十字线：

• 标准尺寸：6“方形t = 0.25”（帕蒂克尔检查器）
• 材质：石英
• 图案材料：2层CR，3层CR
• 薄膜框架：仅图案侧支架= 6.3mm

光罩粒子检查器规格：

检测分辨率：

• 图案表面：>0.6μm
• 玻璃表面：>15μm
• 薄膜表面：>20μm
   

检测重复性： >95%

• 晶圆尺寸：标准8“（8”至12“半标准，JEIDA，缺口/扁平，可选）
• 吞吐量：每小时125次（30次）22毫米（8英寸晶圆）
• 吞吐量：每小时73w/小时（64张）22毫米（12英寸晶圆）
   

环境箱规格：

• 洁净度：1级（>0.1微米）
• 温度控制精度：在+/- 0.1*C以内

腔室规格：

• 腔室类型：CD140
• 空调：BCU-900
• 制冷剂： P3419481YH
• 护发素： SC-216440