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NSR-SF130

产品名称：Nikon光刻机
品牌：Nikon
所在地：上海
产品型号：NSR-SF130
适用行业：化合物半导体、MSMS、LED等领域

技术指标

解像度

≦ 280 nm

NA

0.62

露光光源

i-line (365 nm wavelength)

缩小倍率

1:4

最大露光范围

25 × 33 mm

重合精度

≦ 35 nm

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